谱仪类仪器
电子束蒸发镀膜机
设备型号:EBPVD450
仪器品牌:超迈光电
放置区域:58楼ACE区A226室
负责教师:周定邦
联系方式:022-27893537
技术参数
1.腔体尺寸为：ø450x600mm； 2.真空系统：极限真空5X10-4Pa， 3.转速3～30rpm变频可调。 4.最高烘烤温度300℃； 5.蒸发功率4KW，8V。
功能特色
该设备为电阻、电子束或电阻电子束复合镀膜系统，真空系统后置，配备分子泵系统，工业级人机界面和西门子PLC系统，可手动和自动模式自由切换，能够满足金属（阻蒸模式）、金属氧化物（电子束模式）、无机非金属氧化物（电子束模式）等材料的蒸发镀膜需求。
应用领域
实现对金属、金属氧化物、无机非金属氧化物等材料的蒸发镀膜需求。