电镜类仪器
Fischione NanoMill® 微束定点精修系统
设备型号:1040
仪器品牌:Fischione
放置区域:58楼ACE区地下一层B130室
负责教师:桑聿帅
联系方式:022-87370950
技术参数
1.1 功能：定点制备无非晶层透射电镜样品； 2.2 配备二次电子探头，可实现加工的同时进行高分辨观察，具备纳米级分辨率； 2.3 加工离子能量范围需包括：50eV ~ 2keV； 2.4 离子束束斑尺寸：≤1μm，可精确定位制备样品； 2.5 样品台倾转角度：-10度 ~ +30度，连续可调； 2.6 最大离子束流：≥1mA/cm2; 2.7 配备液氮冷台，温度控制范围-170℃~室温连续可调； 2.8 系统降温时间：≤20分钟； 2.9 样品冷却时间：≤5分钟，保证制样效率； 2.10 持续制冷时间：≥6小时； 2.11 真空系统：无油机械泵+分子泵两级泵系统； 2.12 系统基本真空：≤3.3x10-6Tor； 2.13 采用可编程软件控制，实时显示制样状态； 2.14 配备Load lock快速换样仓设计，换样时间≤10秒。
功能特色
超低能量离子源 采用微束惰性气体离子束 制备无非晶层/无镓离子注入及超薄样品 采用氩离子束激发二次电子成像定位精度高 配备液氮冷台去除热损伤，精细修复样品
应用领域
针对材料方向，对金属和非金属材料的 FIB样品进行后处理和精修，去掉表面损伤和污染，从而拍摄质量更高的电镜图片。