谱仪类仪器
原位变温相位调制型光学性能分析仪
设备型号:UVISEL Plus
仪器品牌:HORIBA
放置区域:58楼ACE区C218室或A区洁净间
技术参数
1.测量光谱范围： 190nm-2100nm。 2.椭偏类型：相位调制，旋转补偿器，自动相位延迟器，宽带补偿器。 3.光源:氙灯。 4.入射角：自动量角器，角度可从40°到90°变化，最小步进为0.01°。 5.自动样品台: X范围200 mm , 最小步长 0.01 mm。Y范围200 mm , 最小步长 0.01 mm。
功能特色
用于微米及纳米级透明或者半透明薄膜厚度、光学参数等测试，具体应用包括：MEMS器件光刻工艺，光刻胶厚度的高精度测量，以及介质膜厚度光学参数的高精度测量等。
应用领域
用于金属和合金、元素和化合物半导体、绝缘体、超导体、磁性和磁光材料、有机材料、太阳能薄膜、多层薄膜材料、液体材料等领域的薄膜厚度和光学性质的测量。