【仪器上新】天津大学材料学院大型仪器平台Helios 5UC聚焦离子束/电子束双束显微镜开放运行通知 发布时间: 2025-03-31 10:30:55

　　Helios 5UC聚焦离子束/电子束双束显微镜

　　材料学院大型仪器管理平台的设备为Helios 5UC聚焦离子束/电子束双束显微镜。该设备具备超高分辨离子束和电子束镜筒，可以实现4.0nm@30kV离子束分辨率和0.6nm@2kV/0.7nm@1kV/1.0nm@500V电子束分辨率;配置全自动透射样品样品制备功能，可以进行冷冻制样;全套三维成像解决方案，可以进行低温成像;具备多种监控手段(SPI/iSPI/iRTM)，可以实时监控加工进度;配置高分辨能谱仪和电子背散射分析仪，可实现成分分析和取向等晶体结构分析。该设备现已完成基本操作培训，可以开展测试工作。

　　仪器型号：Helios 5UC

　　实验室地点：31-180

　　联系电话：022-85356424

　　仪器功能：使用Ga离子束进行各类材料的纳微米级尺度高精度加工、修改、成型和高分辨成像。结合电子束高分辨显微表征、能谱和EBSD(TKD)等辅助分析，进行材料高分辨微观形貌、三维结构、晶体取向及元素含量分析信息测试。利用纳米机械手，可以进行TEM样品的制备。

　　注：特殊制样，如有磁性样品、超硬材料以及截面挖槽、特殊图案加工、冷井保护等特殊样品制备要求，或个性化实验需求，请与负责人联系。

　　样品要求：最佳样品高度1-2mm，最高不高于4mm，样品高度差小于2mm。

　　技术参数：

　　离子源：Ga离子液态离子源。

　　离子束交叉点分辨率：2.5 nm@30 kV(选边法)，4.0 nm@30 kV (多边法)。

　　离子束加速电压：0.5 kV ~ 30 kV。

　　离子束流强度：1.0 pA ~ 100 nA。

　　气体注入系统(W/Pt/C沉积)。

　　电子束分辨率：0.6nm@2kV/0.7nm@1kV/1.0nm@500V

　　电子束加速电压：350V-30kV(连续可调)，减速模式-4kV-0V

　　电子束束流强度：0.8pA-100nA

　　X、Y 方向移动范围 150 mm;Z 范围 10 mm;倾斜范围-10°至 60°;可绕 Z 轴旋转任意角度 (360°)

　　全自动透射样品样品制备功能，可以进行冷冻制样;

　　全套三维成像解决方案，可以进行低温成像;

　　具备多种监控手段(SPI/iSPI/iRTM)，可以实时监控加工进度

　　能谱仪Ultim Max 100：能量分辨率：Mn Ka处实际验收数据123eV，C Ka 48eV，F Ka 56eV;元素分析范围：Be4～Cf98;具备元素面分布实时刷新显示功能;定性及定量分析。

　　电子背散射衍射仪-Symmetry S3(TKD)：高速低噪音CMOS相机，分辨率1244*1024;在线解析最高标定速度实测5765Hz;MAD：0.05度;配有Aztec Crystal EBSD数据后处理软件包，和采集软件同一风格，包含且不限于如下功能：数据修饰;晶粒统计;晶界分析;应变分析;极图和反极图。