电镜类仪器
精密离子减薄仪
设备型号:PIPS II 695
仪器品牌:Gatan
放置区域:58教ACE区地下一楼B130室
技术参数
1. 离子源：氩离子； 2. 离子束能量：0.1-8.0 keV连续可调； 3. 离子束流密度峰值：可达10mA/cm2； 4. 减薄角度范围：+10°到-10°，每只离子枪可独立调节； 5. 样品台旋转：样品台可以旋转，转速1-6 rpm可调； 6. 样品台可以实现X和Y方向的移动； 7. 真空度：5×10-6 Torr； 8. 样品更换：样品更换时间1min，无需破减薄室真空； 9. 控制部分：彩色触摸屏，操作简单，能够完全控制所有参数，支持减薄程序的设定和储存； 10. 配备液氮冷台，可持续使用6-8小时。
功能特色
1. 可进行块体材料透射电镜样品的常规平面样品和截面样品制备； 2. 离子束能量0.1-8.0 keV可调，低能范围的性能可减少样品表面因离子束轰击而产生的非晶区域； 3. 可用于聚焦离子束（FIB）样品的表面清扫； 4. 配备的液氮冷台可消除热效应所产生的样品损伤，适合对温度敏感性样品的减薄，从而还原样品的真实结构以供透射电镜（TEM）分析研究； 5. 配备可调节样品台可对减薄样品进行精确定位； 6. 触摸操作屏幕简单易用，提高对减薄区域的精度控制和减薄过程的可重复性。
应用领域
主要用于对已加工成直径Φ3mm的薄片样品（厚度30-40μm）进行最终减薄，制备具有大面积清洁薄区的高质量透射电镜样品。