电镜类仪器
聚焦离子束电子束双束电镜
设备型号:Helios 5UX
仪器品牌:赛默飞
放置区域:58楼ACE区地下一层B124室
技术参数
1.离子束及辅助气体注入系统 （1）离子源种类：液态Ga离子源； （2）交叉点分辨率：4.0 nm@30 kV（多边法），2.5 nm@30 kV（选边法）； （3）加速电压：500 V-30 kV； （4）配备Pt、C、W三路气体沉积，可在离子束、电子束诱导下进行Pt、C、W等的沉积。 2.电子束系统 （1）电子枪类型：带有单色器的肖特基场发射灯丝； （2）分辨率：在最佳工作距离：0.6 nm@15 kV，0.7 nm@1 kV； 在束交叉点：0.6 nm@15 kV，1.2 nm@1 kV； （3）加速电压：350 V-30 kV（连续可调）； （4）束流强度：0.8 pA-100 nA。
功能特色
1. 用于高分辨率S/TEM和原子探针断层扫描（APT）样品制备，可实现自动化、高质量、定点、超薄样品制备； 2.自动切片与成像，可进行三维图像重构，配合能谱仪和电子背散射衍射仪可进行成分和织构的三维重构； 3.配备冷冻样品台和冷冻机械手，可实现低温样品制备； 4.多层纳米结构图形生成及加工功能，可实现复杂结构的精确加工； 5.配备样品真空转移装置，可实现双束电镜和手套箱之间的真空转移，避免部分样品因接触空气导致的氧化； 6.多达6个集成化镜筒内及透镜下探测器，采集优质、锐利、无荷电图像，可获得亚纳米分辨率图像，提供最完整的样品信息； 7.配备170 mm2高速能谱仪和高精度、高速率的EBSD，可实现快速成分和织构分析
应用领域
材料科学、半导体器件、生物材料研究