聚焦离子束电子束双束电镜离子束系统

Helios聚焦离子束电子束双束电镜离子束系统

　　地点：58楼ACE区B124

　　离子源种类：液态Ga离子源;

　　交叉点分辨率：4.0nm @ 30kV (多边法)，2.5nm @ 30kV (选边法)

　　加速电压：0.5kV - 30 kV

　　束流强度：1pA - 65nA

　　电子束技术

　　电子枪类型：带有单色器的肖特基场发射灯丝

　　分辨率：在最佳工作距离：0.6nm @ 15kV;0.7nm @ 1kV

　　在束交叉点分辨率：0.6nm @ 15kV;1.2nm @ 1kV

　　配置冷冻样品台CryoMAT和冷冻机械手，冷冻样品台可以实现液氮温度，可以实现低温下透射样品的制备。