场发射扫描电镜

SU8600场发射扫描电镜

　　地点：58楼ACE区B122

　　二次电子像分辨率 0.6 nm@15 kV，0.7 nm@1 kV

　　放大倍率 20 to 2,000,000 x

　　电子枪 冷场发射电子源，支持柔性闪烁功能，包含阳极烘烤系统。

　　加速电压 0.5 to 30 kV