电镜类仪器
极高分辨场发射扫描电镜
设备型号:SU8600
仪器品牌:日立
放置区域:58楼ACE区地下一层B122室
技术参数
1.二次电子像分辨率：0.6 nm@15 kV，0.7 nm@1 kV； 2.加速电压：0.5 kV-30 kV； 3.放大倍数：20倍-200万倍； 4.电子枪：冷场发射电子源。
功能特色
1.具有极高的分辨率，可达0.6 nm； 2.可在低电压下高放大倍数观察不导电样品； 3.可在超低电压下观察对电子束敏感的易损伤样品； 4.配备UD ExB能量过滤器，SE/BSE信号可按比例混合成像； 5.配备Oxford Ultim Max 100高速能谱仪（探头面积为100 mm2），可对样品进行点、线、面的元素与含量分析，极大缩短能谱采集时间，在5 min之内即可获得高质量的元素分布图像。
应用领域
观察样品的表面微观形貌，可应用于材料科学、生物医学和地质学等