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高真空镀膜仪

2024-04-03

高真空镀膜仪ACE600

　　地点：58楼ACE区B130

　　可进行高达 200kX 的高放大倍率扫描电镜 (SEM) 分析，具有出色的基础真空度(<2x10-6 mbar)，可为各种不同的溅射靶材仔细均衡调整工艺参数。根据样本形态的需要调整样本距离和镀膜角度。