电镜类仪器
真空镀膜仪
设备型号:EM ACE600
仪器品牌:Leica
放置区域:58楼ACE区地下一层B130室
技术参数
具备离子溅射、碳丝蒸发镀碳及双模式功能，并可选配辉光放电以增强网格表面亲水性。设备采用专利脉冲式碳丝蒸发设计，可精确控制碳膜厚度，并可选配石英膜厚检测器，精度达0.1nm，确保均匀稳定的镀膜效果。全自动程序控制使抽真空、镀膜、放气等过程一键完成，同时配备触摸屏操作，使用便捷。仪器支持低真空（7×10⁻³ mbar）溅射电流 0-150mA 可调，且拥有方形样品仓专利设计（140mm×145mm×150mm），工作距离调节范围 30mm-100mm，满足多种实验需求。
功能特色
高真空环境中，镀膜表面平整性和厚度均匀性更好，膜层更加致密,薄膜具有更好的导电性和均匀性;可进行离子溅射镀金属膜或碳丝蒸发镀碳膜。
应用领域
SEM样品前处理，消除SEM成像中的充电效应，提高图像的清晰度和分辨率